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GB/T 26307-2010 銀靶 檢測標(biāo)準(zhǔn)

作者：如影隨風(fēng) 時間：2022-12-12

百檢網(wǎng)第三方檢測業(yè)務(wù)范圍廣泛,合作實驗室近千家,其中檢測認證服務(wù)已開展多年,資質(zhì)齊全可根據(jù)相關(guān)檢測標(biāo)準(zhǔn)制定檢測報告.部分檢測標(biāo)準(zhǔn)如下:

1.范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了銀靶的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量證明書與訂貨單(或合同)內(nèi)容。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件用的各類銀濺射靶材(以下簡稱銀靶)。其他用途的靶材也可參照使用。

2.規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 4135 銀

GB/T 6394 金屬平均晶粒度測定方法

GB/T 11067 銀化學(xué)分析方法

GB/T 15077 貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

3.要求

3.1 產(chǎn)品分類

銀靶的類型按化學(xué)成分為IC-Ag99.99一種。

銀靶的形狀和尺寸主要由設(shè)備基臺確定,外形主要為圓形、矩形和異型。

3.2 化學(xué)成分

銀靶IC-Ag99.99的化學(xué)成分應(yīng)符合GB/T 4135的規(guī)定。需方對某種特定雜質(zhì)元素含量有要求的,由供需雙方協(xié)商確認。

3.3 晶粒度

銀靶的橫向平均晶粒度應(yīng)在50μm～150μm。

3.4 外觀質(zhì)量

銀靶表面應(yīng)無凹坑、劃傷、裂紋、凸起等缺陷;無潤滑痕跡、顆粒附加物和其他沾污;應(yīng)清潔光滑,無指痕,無油污和銹蝕。

3.5 表面粗糙度

銀靶表面粗糙度Ra值應(yīng)不大于1.6μm。

3.6 幾何尺寸

3.6.1 圓形銀靶的直徑Φ中主要有:25mm、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm,厚度通常為3mm～35mm。

3.6.2 矩形銀靶的尺寸主要有:152mm×76.2mm、680mm×90mm、376mm×40mm,厚度通常為3mm～35mm。

3.6.3 銀靶的尺寸及其允許偏差應(yīng)符合表1的規(guī)定。經(jīng)雙方協(xié)商,可提供其他規(guī)格及允許偏差的銀靶。

4.試驗方法

4.1 銀靶IC-Ag99.99的化學(xué)成分的分析方法按GB/T 11067(所有部分)的規(guī)定執(zhí)行。

4.2 晶粒度的檢測釆用現(xiàn)場金相或取樣檢測。現(xiàn)場金相的檢測方法見附錄A,取樣檢測按GB/T 6394的規(guī)定進行。

4.3 外觀質(zhì)量用目視檢査,如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象,在10倍放大鏡條件下進行目視檢查。

4.4 表面粗糙度由粗糙度儀檢測。

4.5 銀靶幾何尺寸的測量按GB/T 15077的規(guī)定進行。

5.檢驗規(guī)則

5.1 檢驗和驗收

5.1.1 產(chǎn)品應(yīng)由供方檢驗部門進行檢驗,保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本標(biāo)準(zhǔn)(或訂貨合同)的規(guī)定,并填寫質(zhì)量證明書。

5.1.2 需方應(yīng)對收到的產(chǎn)品按本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定進行復(fù)驗。如復(fù)驗結(jié)果與本標(biāo)準(zhǔn)(或訂貨合同)的規(guī)定不符時,應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個月內(nèi)向供方提出,由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁,仲裁取樣應(yīng)由供需雙方在需方場所共同進行。

5.2 組批

產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗收。每批應(yīng)由同一投料批、同一規(guī)格的產(chǎn)品組成。

5.3 檢驗項目及取樣

檢驗項目、取樣位置及數(shù)量應(yīng)符合表2的規(guī)定。

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

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