廠家：ThermoFisher（美國）
型號：ESCALAB Xi+
主要參數(shù)：
分辨率：XPS能量分辨率≤0.43 eV
靈敏度：大面積XPS，Ag 3d5/2(FWHM≤1.0 eV)強(qiáng)度大于106CPS
平行化學(xué)成像
角分辨ARXPS分析
紫外光電子能譜（UPS）
設(shè)備原理
X射線光電子能譜分析的基本原理：一定能量的X光照射到樣品表面，和待測物質(zhì)發(fā)生作用，將樣品表面原子中不同能級的電子激發(fā)成自由電子，然后收集這些帶有樣品表面信息并具有特征能量的電子，通過研究他們的能量分布來確定樣品表面的組成和結(jié)構(gòu)。
根據(jù)Einstein的能量關(guān)系式有：hv=Eb+Ek
hv:入射X光子的能量
Eb:內(nèi)層電子的軌道結(jié)合能
Ek:入射電子所激發(fā)出的光電子的動能
其中若以真空能級來算結(jié)合能有：
EbV=hv-Ek-(ФSpectr-ФS)
EbV與以Fermi能級算起的結(jié)合能EbF間有：
EbV=EbF+ФS
因此有：
EbF=hv-Ek-ФSpectr
ФSpectr:能譜儀的功函數(shù)，ФS:樣品的功函數(shù)
因此通過測量接受的的電子的動能就可得元素的結(jié)合能
根據(jù)結(jié)合能的不同可以確定表面存在的元素，對給定原子的某給定內(nèi)殼層電子的結(jié)合能還與該原子的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)及其化學(xué)環(huán)境有關(guān)，隨著該原子所在分子的不同，該給定內(nèi)殼層電子的光電子峰會有位移，可用于確定元素的氧化態(tài)，價態(tài)等信息。
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