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三氯氫硅檢測

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GB/T 28654-2018工業(yè)三氯氫硅

GB/T 29056-2012硅外延用三氯氫硅化學分析方法 硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定 電感耦合等離子體質譜法

GB/T 30652-2014硅外延用三氯氫硅

GB 51034-2014多晶硅工廠設計規(guī)范 (附條文說明)

HG/T 4683-2014三氯氫硅泄漏的處理處置方法

T/CEMIA 015-2018光纖預制棒用四氯化硅容器清洗技術規(guī)范

T/FSI 003-2016氣相二氧化硅生產(chǎn)用四氯化硅

YS/T 983-2014多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測定方法

YS/T 987-2014氯硅烷中碳雜質的測定方法 甲基二氯氫硅的測定

YS/T 1059-2015硅外延用三氯氫硅中總碳的測定 氣相色譜法

YS/T 1060-2015硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測定 氣相色譜法

YS/T 1156 0190 2607-2017多晶硅副產(chǎn)品 四氯化硅

YS/T 1392-2020氯硅烷組分含量的測定 氣相色譜法


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產(chǎn)品評估:成分分析,分析成分比例,改善生產(chǎn)缺陷,提升產(chǎn)品品質性能

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